德國 米銥 Micro-Epsilon 干涉儀

德國 米銥 Micro-Epsilon 干涉儀 型號 IMS5400-TH45

Micro-Epsilon產品范圍包括用于測量距離和位移的傳感器、用于紅外溫度測量和顏色檢測的傳感器，以及用于尺寸測量和缺陷檢測的系統。產品主要應用于光電傳感領域，工業自動化領域，半導體領域等。

北京漢達森機械技術有限公司是一家專業從事歐洲工業產品進口貿易的公司。主要產品有工業自動化設備、機電設備、液壓設備、電氣設備和零部件等產品。公司總部于2007年在德國成立。公司自成立以來，一直以德國公司的身份為國內一些貿易商，設備商及終端客戶提供產品代購服務。

產品參數：

型號：IMS5400-TH45

工作距離：45mm±3.5mm

測量范圍（厚度）：0.035…1.4mm1)

分辨率：<1nm

測量速率：從100Hz到6kHz連續可調

線性度：<±100nm

傳感器溫度穩定性：在整個溫度范圍內有效的線性

控制器溫度穩定性：溫度補償，穩定性<10ppm在+15...+35°C之間

多層測量：1layer

光源：NIR-SLED，波長840nm，Pilot激光器：激光LED，波長635nm

激光類：1級，符合DIN-EN60825-1:2015-07引導激光器：1級，功率(<0.2mW)

光斑直徑：10µm

測量角度：±2°

電源電壓：24VDC±15%

能量消耗：大約10瓦（24伏）

信號輸入：同步輸入、觸發輸入、2個編碼器（A+、A-、B+、B-、索引）

數字接口：以太網/EtherCAT/RS422/PROFINET6)/EtherNet/IP6)

模擬輸出：4...20mA/0...10V（16位D/A轉換器）

開關量輸出：錯誤1輸出、錯誤2輸出

數字輸出：同步輸出

光纖連接：通過E2000插座（控制器）和FC插座（傳感器）可插拔光纖；標準長度3m、5m和10m；可根據要求提供其他電纜長度；彎曲半徑：靜態30mm，動態40mm

電氣連接：3針電源接線板；，編碼器連接（15針，HD-sub插座，最大電纜長度3m，30m，帶外部編碼器電源）；RS422連接插座（9針，Sub-D，最大電纜長度30m）；，3針輸出端子排（最大電纜長度30m）；11針I/O端子排（最大電纜長度30m）；用于以太網（輸出）/EtherCAT（輸入/輸出）的RJ45插座（最大電纜長度100m）

傳感器安裝：夾緊，安裝適配器（見附件）

控制器安裝：獨立式，DIN導軌安裝

儲存溫度范圍：-20...+70°C

工作溫度范圍：傳感器：+5…+70°C；，控制器：+15…+35°C

沖擊(DINEN60068-2-27)：XY軸15g/6ms，每個1000次沖擊

振動(DINEN60068-2-6)：XY軸2g/20…500Hz，每個10個周期

真空：可選的UHV（電纜和傳感器）

傳感器材料：不銹鋼

控制器材料：鋁制外殼，被動冷卻

控制和指示元件：多功能按鈕：兩個可調功能，10秒后恢復出廠設置；，網頁設置界面：可選預設，自由選擇平均，數據縮減，設置管理；6個彩色LED，用于強度、范圍、SLED、引導激光、狀態和功率；，引導激光：可切換用于傳感器對準（激光LED635nm，激光等級1，功率<0.2mW）

德國 米銥 Micro-Epsilon 干涉儀 型號 IMS5400-TH45