德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺

德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷掃描器 納米定位平臺 P-752

P-752 高精度納米定位平臺

應用領域：

掃描顯微鏡

測量技術

測試程序和質量保證

光子

光纖定位

產品參數：

型號：P-752.11C

主動軸：X

集成傳感器：電容式

-20至+120伏時的開環行程：20微米

行程，閉環：15微米

分辨率，開環/閉環：0.1納米

線性誤差，閉環：0.03%

重復精度：±1納米

螺距/偏轉角：±1微弧度

運動方向上的剛性：30牛/微米

諧振頻率，空載：3200赫茲

帶300 克負載時的諧振頻率：980赫茲

運動方向上的推/拉力：100 / 10牛

負載容量：30牛

型號：P-752.1CD

主動軸：X

集成傳感器：電容式

-20至+120伏時的開環行程：20微米

行程，閉環：15微米

分辨率，開環/閉環：0.1納米

線性誤差，閉環：0.03%

重復精度：±1納米

螺距/偏轉角：±1微弧度

運動方向上的剛性：30牛/微米

諧振頻率，空載：3200赫茲

帶300 克負載時的諧振頻率：980赫茲

運動方向上的推/拉力：100 / 10牛

負載容量：30牛

型號：P-752.21C

主動軸：X

集成傳感器：電容式

-20至+120伏時的開環行程：35微米

行程，閉環：30微米

分辨率，開環/閉環：0.2納米

線性誤差，閉環：0.03%

重復精度：±2納米

螺距/偏轉角：±1微弧度

運動方向上的剛性：20牛/微米

諧振頻率，空載：2100赫茲

帶300 克負載時的諧振頻率：600赫茲

運動方向上的推/拉力：100 / 10牛

負載容量：30牛

型號：P-752.2CD

主動軸：X

集成傳感器：電容式

-20至+120伏時的開環行程：35微米

行程，閉環：30微米

分辨率，開環/閉環：0.2納米

線性誤差，閉環：0.03%

重復精度：±2納米

螺距/偏轉角：±1微弧度

運動方向上的剛性：20牛/微米

諧振頻率，空載：2100赫茲

帶300 克負載時的諧振頻率：600赫茲

運動方向上的推/拉力：100 / 10牛

負載容量：30牛

德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷掃描器 納米定位平臺 P-752